SJT 10314-1992 直流四探针电阻率测试仪通用技术条件
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ID： |
B6AD9FBE5D09414DBD06039656DD8925 |
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文件大小(MB)： |
0.43 |
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页数： |
23 |
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文件格式： |
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日期： |
2009-6-11 |
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N04,中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 10314-92,直流四探针电阻率测试仪,通 用 技 术 条 件,Generic specification of resistivity measuring,instrument with four-point probe,1992-06-15发布1992-12-01实施,中华人民共和国机械电子工业部发布,目次,1 主题内容与适用范围，。。。. (1),2 引用标准. . (1),3 术语.. (1),4 技术要求，.。.. (2),5 测试方法，.。，.. . (5),6 检验规则，.. (10),7 包装、运输和贮存. (12),附录A 电阻率、薄层电阻、修正系数计算公式，.. <13),中华人民共和国电子行业标准,直流四探针电阻率测试仪通用技术条件,SJ/T 10314-92,Generic specification of resistivity measuring,ins tr um e n tw it h four-pointp robe,主题内容与适用范围,本 标 准 规定了直流四探针电阻率测试仪(以下简称四探针测试仪)的主要技术性能、测试,方法、检测规则、包装、运输、贮存要求等,本 标 准 适用于电子和冶金等行业生产与科研中测量半导体、金属薄层等的电阻率、薄层电,阻和电阻的直流四探针测试仪，其它以四探针法为基础的六探针、交直流四探针电阻率、薄层,电阻测试仪可参照使用,本 标 准 不包括四探针探头标准,弓1用标准,GB 191 包装储运图示标志,GB 2906. 1电工名词术语，基本名词术语,GB 6615 硅片电阻率的直排四探针测试方法,GB 11073 硅片径向电阻率变化的测试方法,Si 1889 电子测量仪器可靠性试验方案,SJ 2439 硅单晶棒片,SJ/T 10315四探针探头通用技术条件,JJG 508 四探针电阻率测试仪检定规程,术语,除下 述 术 语外，本标准所采用的电工名词术语、四探针探头名词术语分别按GB2 900.1,《电工名词术语、基本名词术语》和SJ/T 10315《四探针探头通用技术条件》的标准规定,3.1 电阻率P,材 料 内 平行于电流方向的电势梯度与电流密度之比，又称体电阻率，单位为欧姆厘米,(n CM).,使用 直 线 形排列与正方形排列的四探针测试仪，电阻率P的基本计算公式及公式的使用,条件等见附录A,3.2 薄层电阻R.,中华人民共和国机械电子工业部1992-06-15批准1992-12-01实施,一1一,s,1/T 10314-92,材 料 内 平行于电流方向的电势梯度除以电流密度与材料厚度的乘积，当厚度趋近于零时,其值为薄层电阻。形式上为薄层电阻率除以材料厚度，单位为欧姆/方块(n/口),使 用 直 线形排列和正方形排列的四探针测试仪，薄层电阻R。的基本计算公式及公式的,使用条件等见附录A,3.3 修正系数,当探 针 间距、被测样品的几何形状与尺寸等满足不了基本公式所要求的理想条件时，需要,在基本公式中附加一些系数进行修正，这些系数称为修正系数,各 修 正 系数的定义、计算公式、使用条件等见附录A.,3.4 直流四探针电阻率测试仪,用来 测 试 材料电阻率、薄层电阻和电阻的探针测试装置。由四探针探头、直流恒流电源和,测量仪表等组成。用规定的压力将探头上四根探针与被测样品表面形成欧姆接触，在其二根探,针上通以电流，在另外两探针上测量其电位差，利用通入的电流和测量的电位差等数据，以及,相应公式经过运算处理得到被测量的参数,技术要求,4.1 外观结构要求,4.1.1 四探针测试仪的外观结构应符合下列原则:布局合理、美观大方、结构紧凑、显示清晰、,操作方便、易于维修,4.1.2 四探针测试仪的表面平整光滑，无划痕、压伤、变形、锈蚀现象，涂复层不得脱落,4.1.3 零部件的安装应牢固无松动，有防松动措施，开关、旋钮的调节应方便，操作应灵活,4.1.4 四探针测试仪面板上的文字符号和标志清楚无误，符合有关标准规定,4.1.5 位移机构的动作应平稳，操作方便，噪声小,4.1.6 探头外观要求应符合SJ/T 10315标准的规定,42 使用环境要求,大 气 压 :(86-106)kPa;,温 度 :( 23士5)0C;,相 对 湿 度:不大于“%;,具 有 空 调的专用清洁室;,室 内 无 强电磁场干扰，无强光直接照射，没有明显的振动和波动,4.3 电源要求,电压 :(2 20士10%)v;,频 率 :( 50士1%)Hz;,波 形 :正 弦波,4.4 安全要求,4.4.1 电源输入端与机壳间的绝缘电阻应大于500M(1,4.4.2 电源进线应有保险器,4.4.3 电源输入端与机壳间应能承受1500V(有效值)交流电压历时1分钟，无击穿与飞弧现,象,4.5 主要技术性能,四 探 针 测试仪按主要技术性能分为工、I级，在I级仪器中按自动化程度分为A,B两档.,一 2 一,s,1/T 10314-92,整机综合技术指标,测量 范围(见表1),表1,四探针测试仪等级I 互,电阻率0Ocm 10-'^-10' 10-'-2 X 10',薄层电阻0/口10-'^-10' 10" 2 X 10',电阻n 10-'^.10' 10-'-2X 10',准确度(见表2),表2,四探针测试仪等级I 1,>0. 01-500ncm 士3% 士5%,>0. 001-0. oin cm,>500-10000 cm,士5% 士10纬,重复性(见表3),表3,四探针侧试仪等级I l,> 0. 01- 5000 cm……
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